Paruošimasniobio vielacheminio nusodinimo garais būdu
Cheminis nusodinimas iš garų arba CVD yra dujinių cheminių medžiagų skaidymo į kietas medžiagas aukštoje temperatūroje metodas. Šio metodo privalumai yra paprastas veikimas, trumpas gamybos ciklas ir mažos gamybos sąnaudos. Toliau pateikiami išsamūs niobio vielos paruošimo žingsniai:
1. Paruošimas prieš ruošimą
Pirma, aukštos kokybės niobio metalo milteliai turi būti atrinkti, sijoti ir rafinuoti, kad miltelių kokybė ir paviršiaus būklė atitiktų reikalavimus. Tuo pačiu metu turi būti parinktos tinkamos dujos, reakcijos temperatūra, reakcijos laikas ir kitos sąlygos, kad būtų užtikrinta sklandi reakcijos eiga.
2. Paruošimo procesas
Į reaktorių įpilama niobio miltelių, o reakcijos temperatūra kaitinant pakeliama iki maždaug 1300 laipsnių. Tada reakcijos dujos (pvz., niobio pentachloridas) įvedamos į reaktorių ir palaipsniui suskaidomos ant niobio miltelių paviršiaus, kad susidarytų metalo niobio garai. Per atitinkamą reakcijos laiką niobio garai bus nusodinti į ploną plėvelę reaktoriaus viduje ir galiausiai sudarys niobio vielą.
3. Tolesnis apdorojimas
Po to, kai susidaro niobio viela, reikalingas tolesnis apdorojimas. Paprastai niobio viela turi būti atkaitinta, kad būtų pašalintas vidinis įtempis ir struktūrinis nehomogeniškumas bei pagerintos niobio vielos fizinės savybės.
Zhenan niobio vielos gaminio paveikslėlio ekranas
