Kas yra metalinis taikinys?

Kas yra metalinis taikinys?

Tikslinė medžiaga yra viena iš pagrindinių medžiagų plonoms plėvelėms ruošti. Jis daugiausia naudojamas integriniuose grandynuose, plokščiuose ekranuose, saulės elementuose, įrašymo laikmenose, išmaniajame stikle ir kt., Jai keliami aukšti medžiagų grynumo ir stabilumo reikalavimai.

Tikslinės medžiagos purškimo veikimo principas: Purškimas yra viena iš pagrindinių plonasluoksnių medžiagų paruošimo technologijų. Jis naudoja jonų šaltinio generuojamus jonus, kad pagreitintų ir susikauptų vakuume, kad sudarytų didelės spartos{1}}jonų pluoštą, kuris bombarduotų kietą paviršių. Kieto paviršiaus jonai ir atomai keičiasi kinetine energija, todėl kietojo paviršiaus atomai palieka kietą medžiagą ir nusėda ant pagrindo paviršiaus. Bombarduojama kieta medžiaga yra purškianti tikslinė medžiaga.

Tikslinių medžiagų plėtros tendencija yra tokia: didelis purškimo greitis, grūdelių orientacijos valdymas, didelis dydis ir didelio{0}}grynumo metalas.

Tikslinė medžiaga suvirinama „taikinio ruošiniu“ ir „nugarine plokšte“.

(1) Tikslinis ruošinys yra tikslinė medžiaga, bombarduojama didelės spartos jonų pluošto. Tai yra pagrindinė purškiamos tikslinės medžiagos dalis ir apima didelio-grynumo metalo ir grūdelių orientacijos kontrolę. Purškimo dengimo proceso metu, po to, kai tikslinis ruošinys patenka į jonus, jo paviršiaus atomai yra išpurškiami ir išsklaidomi bei nusėda ant pagrindo, kad susidarytų elektroninė plona plėvelė.

(2) Užpakalinė plokštė atlieka pagrindinį vaidmenį fiksuojant purškimo taikinį, kuris apima suvirinimo procesus. Kadangi didelio-grynumo metalai yra mažo stiprumo, purškimo taikinys turi būti sumontuotas tam skirtame įrenginyje, kad būtų užbaigtas purškimo procesas. Įrenginys yra aukštos-įtampos ir didelio{5}}vakuuminėje aplinkoje. Todėl ypač -aukšto- grynumo metalo purškimo taikinio ruošinys turi būti sujungtas su galine plokšte taikant skirtingus suvirinimo procesus. Galinė plokštė turi turėti gerą elektros ir šilumos laidumą.