Didelio grynumo tantalo tiglio grynumo įvertinimas ir sertifikavimas
Didelio grynumo tantalo tiglis apibrėžiamas grynumu, didesniu arba lygu 99,99 %, pašalinant teršalų pėdsakus, kad atitiktų griežtus ypač jautrių medžiagų apdorojimo reikalavimus.
Grynumo lygiai apima 99,95 % (komercinis), 99,98 % (analitinis) ir 99,99 % (elektroninis / branduolinis). Sertifikavimas naudojant GDMS (švytėjimo išlydžio masės spektrometriją) arba ICP-MS (induktyviai susietos plazmos masės spektrometrija) patvirtina priemaišų lygius: pvz., 99,99 % tiglių Fe yra mažesnis arba lygus 5 ppm, Ni Mažiau arba lygus 3 ppm arba C Les10 ppm. Šis atsekamumas yra labai svarbus aviacijos ir kosmoso (lydymosi superlydinių) arba puslaidininkių (apdorojančių daug -k dielektrikų) įrenginiuose.
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
99,95% tantalo tigliai elektronų pluošto garintuvui, laboratorijoje naudojami Ta tigliai
Didelio grynumo tantalo tiglio gamybos iššūkiai
Po{0}}gamybos, vakuuminis atkaitinimas (1500 laipsnių, 10⁻⁵ Pa) pašalina absorbuotas dujas, dar labiau padidindamas grynumą.
Našumo pranašumai svarbiose programose
Puslaidininkių epitaksijoje 99,99 % tiglių apsaugo nuo užteršimo priedais (pvz., Fe pakeičia silicio elektrines savybes). Branduoliniam kurui juose yra urano oksido lydalų, neįtraukiančių neutronus -sugeriančių priemaišų (pvz., B, Cd). Jų mažas dujų išsiskyrimo greitis (<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²) also suits ultra-high-vacuum (UHV) systems, unlike lower-purity crucibles that release volatiles.
